奧偉登亮相第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展

瀏覽次數(shù)：947　發(fā)布日期：2025-9-4　來(lái)源：本站　本站原創(chuàng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處

奧偉登亮相半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展，以智能檢測(cè)技術(shù)賦能半導(dǎo)體制造全流程！

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迭代升級(jí)，始終圍繞 “更精密的制程、更嚴(yán)苛的品控、更高效的生產(chǎn)” 展開，而微觀檢測(cè)作為半導(dǎo)體制造的 “眼睛”，直接決定著芯片從研發(fā)到量產(chǎn)的每一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

9月4-6日，第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心啟幕，擁有百年光學(xué)科技積淀的奧偉登（Evident），攜 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡、OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡、BXC 顯微鏡組件等核心產(chǎn)品亮相 B1-221B 展位，以 “全場(chǎng)景、高精度、智能化” 的顯微檢測(cè)方案，助力半導(dǎo)體行業(yè)破解微觀觀測(cè)痛點(diǎn)，誠(chéng)邀各界同仁蒞臨展臺(tái)，共探科技賦能半導(dǎo)體制造的新路徑。

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DSX2000 數(shù)碼顯微鏡
“一鍵切換”，
適配半導(dǎo)體多材質(zhì)觀測(cè)需求

在半導(dǎo)體制造中，不同環(huán)節(jié)涉及的檢測(cè)對(duì)象材質(zhì)差異較大 —— 從透明的光刻膠、絕緣的介質(zhì)層，到金屬互聯(lián)層、不透明的晶圓載體，傳統(tǒng)顯微鏡往往需要頻繁更換物鏡或調(diào)整光學(xué)模式，不僅耗時(shí)，還易因操作誤差影響檢測(cè)精度。奧偉登 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡，以 “多模式快速切換” 與 “高畫質(zhì)成像” 為核心優(yōu)勢(shì)，有效解決這一痛點(diǎn)。

該產(chǎn)品搭載創(chuàng)新的 “智能光學(xué)系統(tǒng)”，支持明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相差（DIC）、偏振光等多種觀測(cè)模式一鍵切換，無(wú)需手動(dòng)更換部件，即可快速適配半導(dǎo)體不同材質(zhì)的觀測(cè)需求。同時(shí)，DSX2000 配備 4K 超高清成像單元，結(jié)合專業(yè)級(jí)色彩還原技術(shù)，能捕捉納米級(jí)細(xì)節(jié)，為缺陷識(shí)別提供精準(zhǔn)依據(jù)。

更值得關(guān)注的是，DSX2000 內(nèi)置 “自動(dòng)化檢測(cè)流程”，可預(yù)設(shè)不同檢測(cè)場(chǎng)景的參數(shù)（如放大倍率、照明強(qiáng)度、觀測(cè)模式），新手操作也能快速上手；支持與半導(dǎo)體工廠的檢測(cè)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，檢測(cè)數(shù)據(jù)可直接導(dǎo)出為標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告，大幅提升檢測(cè)效率，適配量產(chǎn)場(chǎng)景下的高頻次檢測(cè)需求。

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OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡
“三維洞察”，
破解半導(dǎo)體微觀形貌分析難題

奧偉登OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡，以 “超高精度三維成像” 為核心，為半導(dǎo)體三維微觀分析提供 “可視化解決方案”。

OLS5100 采用激光共聚焦技術(shù)，通過(guò)逐點(diǎn)掃描的方式獲取樣本的縱向光學(xué)切片，再經(jīng)軟件重構(gòu)生成三維立體圖像，能精準(zhǔn)測(cè)量焊點(diǎn)的高度差、封裝膠體的表面平整度，以及半導(dǎo)體材料的表面粗糙度。

此外，OLS5100 具備 “高速掃描” 與 “自動(dòng)化分析” 功能 —— 較傳統(tǒng)共聚焦設(shè)備效率提升2 倍；內(nèi)置的三維分析算法可自動(dòng)計(jì)算體積、面積、粗糙度等參數(shù)，避免人工測(cè)量的主觀誤差，為半導(dǎo)體制造的 “標(biāo)準(zhǔn)化品控” 提供數(shù)據(jù)保障。

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BXC 顯微鏡組件
“穩(wěn)定耐用”，
適配半導(dǎo)體潔凈車間嚴(yán)苛環(huán)境

半導(dǎo)體潔凈車間對(duì)設(shè)備的 “潔凈度、抗干擾性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性” 有著較高要求 —— 不僅要耐受頻繁的消毒擦拭，還要避免與高頻生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生電磁干擾，同時(shí)需支持 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。奧偉登 BXC 顯微鏡組件，以 “工業(yè)級(jí)耐用設(shè)計(jì)” 與 “高適配性”，成為半導(dǎo)體量產(chǎn)車間的 “可靠伙伴”。

在硬件設(shè)計(jì)上，BXC 采用防腐蝕、防靜電材料，表面經(jīng)過(guò)特殊涂層處理，可耐受潔凈車間常用的異丙醇擦拭，避免設(shè)備表面殘留污染物影響晶圓檢測(cè)；內(nèi)部電路采用抗電磁干擾設(shè)計(jì)，即使與光刻機(jī)、離子注入機(jī)等高頻設(shè)備同場(chǎng)使用，也能保持成像穩(wěn)定，無(wú)信號(hào)干擾；關(guān)鍵部件如載物臺(tái)、物鏡轉(zhuǎn)盤經(jīng)過(guò) 10 萬(wàn)次以上的磨損測(cè)試，長(zhǎng)期高頻率操作仍能保持微米級(jí)定位精度，降低設(shè)備維護(hù)成本。

在功能適配性上，BXC 支持靈活的模塊化擴(kuò)展 —— 可搭載高靈敏度相機(jī)實(shí)現(xiàn)熒光成像，用于半導(dǎo)體材料的熒光標(biāo)記檢測(cè)；也可接入自動(dòng)化載物臺(tái)，實(shí)現(xiàn)晶圓樣本的自動(dòng)移動(dòng)與多區(qū)域檢測(cè)，適配量產(chǎn)場(chǎng)景下的 “無(wú)人值守” 需求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的每一次突破，都離不開對(duì)微觀世界的精準(zhǔn)掌控；而奧偉登的每一款產(chǎn)品，都致力于讓 “微觀觀測(cè)” 更高效、更精準(zhǔn)、更便捷。第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展，既是行業(yè)技術(shù)交流的平臺(tái)，更是創(chuàng)新合作的契機(jī)。奧偉登（Evident）期待在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心 B1-221B 展位與您相遇，以百年光學(xué)科技為基，以諸多解決方案為橋，攜手探索微觀檢測(cè)賦能半導(dǎo)體制造的更多可能，共同推動(dòng)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度、更高效率的新未來(lái)！

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