當(dāng)前位置 > 首頁 > 技術(shù)文章> CD-SEM
按分類查找文章
-
219 次 利用紫外成像獲得更高的分辨率 2026-1-30
紫外的應(yīng)用點紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率，能夠量測更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應(yīng)用于晶圓和掩膜版關(guān)鍵尺寸(CD)測量及缺陷分析。（基于瑞利公式對比，基于紫外光和可見光波
Copyright(C) 1998-2026 生物器材網(wǎng) 電話：021-64166852;13621656896 E-mail：info@bio-equip.com